Поверка преобразователей давления малогабаритных «Корунд-ДД», «Корунд-ДИ»

Назначение: для преобразования разностного и избыточного давления жидких и газообразных сред, неагрессивных к материалам контактирующих деталей (титановые сплавы), в информативный параметр выходного сигнала в виде постоянного тока в системах автоматического управления, контроля и регулирования производственными процессами в различных отраслях народного хозяйства.

Поверка преобразователей давления малогабаритных Корунд

Работа преобразователей основана на использовании тензоэффекта в структурах «кремний на сапфире». Измеряемое давление действует на титановую мембрану, на внутренней стороне которой напаяна сапфиро­вая подложка с эпитаксиальными кремниевыми резисторами.

Преобразователи состоят из первичного преобразователя, воспри­нимающего измеряемое давление и преобразующего его в выходной сигнал разбаланса тензометрического моста, и электронного преобра­зователя, питающего тензомост и преобразующего выходной сигнал тензомоста в унифицированный выходной электрический сигнал постоян­ного тока.

Преобразователи представляют собой единую конструкцию (первич­ный преобразователь соединенный с электронным преобразователем).

Преобразователи подсоединяются к рабочей магистрали при помощи штуцера.Измеряемое давление через штуцер подается в рабочую полость и воздействует на металлическую мембрану, на внешней поверхности которой жестко закреплен полупроводниковый чувствительный элемент. Данный элемент представляет собой монокристаллическую сапфировую подложку, на поверхности которой сформированы гетероэпитаксиальные кремниевые резисторы, соединенные в тензочувствительную мостовую схему; выводы от схемы соединены с контактами выходного разъема. В кожухе, герметично соединенном со штуцером и закрытым верхней крышкой, находится плата электронного преобразователя с потенцио­метрами для корректировки «нуля» и «диапазона». На верхней крышке установлен разъем для подсоединения ответной части с проводами линии связи.